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揭秘半导体领域是如何防静电的
日期：2025-08-04 14:04
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摘要：揭秘半导体领域是如何防静电的？在半导体制造的整个流程里，静电带来的三大问题尤为突出，分别是微粒污染、静电放电造成的器件损坏
揭秘半导体领域是如何防静电的？在半导体制造的整个流程里，静电带来的三大问题尤为突出，分别是微粒污染、静电放电造成的器件损坏，以及由此引发的设备停机。所以，对静电进行有效控制势在必行。国际半导体发展路线图和 SEMI 标准都提出了建议，要将静电控制在合适的水平。静电控制方案包含接地、使用静电耗散材料以及空气电离化等方式。为了适应半导体生产快速发展的需求，静电耗散材料和空气离子器也在不断更新迭代。 在半导体器件生产车间，芯片一旦吸附灰尘，超大规模集成电路的产量就会大幅下降。虽然车间操作人员会穿着洁净的工作服，但如果人体带有静电，就很容易吸附灰尘和污垢。这些灰尘和污垢被带到操作现场后，会影响产品质量，导致产品性能变差，成品率大幅降低。要是吸附的灰尘颗粒半径大于线路宽度，且薄膜厚度较薄，产品就极有可能报废。 因此，在加工、生产和包装过程中，建立静电保护系统是很有必要的。集成电路封装生产线对静电的要求更为严格。为了保证生产线正常运行，洁净车间应全部采用防静电建筑材料进行装修，所有进出洁净车间的人员都要配备防静电服装等硬件防护措施。此外，包装企业可以依据相关国家标准，并结合自身实际情况，制定企业内部标准或具体的防静电要求，以配合包装生产线的正常运转。 由于除尘防静电设备种类繁多，选择适合自身的产品主要取决于生产线的实际条件。以下介绍几种兼具除尘和防静电功能的装置：
离子风机：主要作用是消除静电，具有出色的防静电性能，能防止静电污染和破坏。适用于电子生产线，可避免静电放电（ESD）现象，也是维修台等个人型静电防护区域（EPA）的理想设备。它专为局部区域设计，具有体积小、重量轻、安装方便等特点。
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离子风棒：长度仅 180mm，却能实现 600-800mm 范围的静电消除，适用于狭小空间对快速除静电的需求。
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防静电工作服：这是专为减少静电危害而设计的防护服装，采用导电纤维与涤纶混纺制成。它能将人体产生的静电通过导电材质快速释放，避免静电积累引发火花或吸附灰尘。
其优点十分明显：一是高效防静电，能有效降低静电放电对电子元件、半导体芯片等敏感产品的损害风险，保障生产质量；二是防尘性好，面料致密且不易产生纤维脱落，可减少人体携带的灰尘进入洁净车间，适合电子、医药等对环境洁净度要求高的场景；三是穿着舒适，多数采用透气面料，在具备防护性能的同时，也方便人体活动，适合长时间作业；四是通用性强，可根据不同行业的需求设计成连体服、分体服等样式，满足车间操作、实验室工作等多种场景的防护需求。
